什么是潔凈室（無(wú)塵室）?

，但普遍還是用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國(guó)制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。
　　209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級(jí)以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國(guó)際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。
　　美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級(jí)為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。

（三）潔凈室控管之項(xiàng)目
　　1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子

。
　　2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
　　3. 溫度和濕度之控制。
　　4. 壓力之調(diào)節(jié)。
　　5. 有害氣體之排除。
　　6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
　　7. 靜電之防制。
　　8. 電磁干擾預(yù)防。
　　9. 安全因素之考慮。
　　10. 節(jié)能之考量。

（四）潔凈室之分類

1.亂流式（Turbulent Flow）：
　　空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器（HEPA）進(jìn)入潔凈室